Jaký je plochý okraj křemíkového plátku?
Plochá může být také nazývána polohovací hranou.
2, 4 a 6-palcové křemíkové plátky nejsou úplně kulaté, ale mají odříznutý chybějící roh. Po vytažení křemíkového ingotu metodou CZ, před jeho rozřezáním na křemíkové plátky, jakmile je určena orientace krystalu, bude na ingotu diamantovou pilou vyříznuta jedna nebo více plochých hran. Proto má křemíkový plátek 1-2 polohovací okraje, dlouhý polohovací okraj je ve spodní části plátku a krátký polohovací okraj není fixován v poloze, což se mění s orientací krystalu a typem dotování.
Jaký je vztah mezi polohou polohovací hrany a orientací krystalu?
Obecně existují tři typy orientace krystalů pro křemíkové destičky:<111> <110> <100>.
Když je úhel mezi hlavní polohovací hranou a vedlejší polohovací hranou 45 stupňů, typ křemíkové destičky je typu n<111>; když je úhel mezi hlavní polohovací hranou a vedlejší polohovací hranou 90 stupňů, typ křemíkové destičky je typu p<100>; když je úhel mezi hlavní polohovací hranou a vedlejší polohovací hranou 180 stupňů, typ křemíkové destičky je typu n<100>. Vzhledem k tomu,<110>krystalová orientace není hlavní proud krystalové orientace křemíkového plátku, neexistuje žádný standard, který by ji reprezentoval. The<110>krystalová orientace může být reprezentována podle vlastních norem dodavatele křemíkového plátku.
Jsou délky primárních a sekundárních polohovacích hran pevné?
Ano, protože musí odpovídat vybavení pro výrobu polovodičů, jsou délky a pozice primárních, primárních a sekundárních polohovacích hran pevně dané.
Obecně je délka primárního polohovacího okraje 2-palcového křemíkového plátku 15,8 mm, délka primárního polohovacího okraje 4-palcového křemíkového plátku je 32,5 mm a délka primárního polohovací hrana 6-palcového křemíkového plátku je 57,5 mm. Délka sekundárního polohovacího plochého okraje 4-palcového křemíkového plátku je asi 18 mm a délka sekundárního polohovacího plochého okraje {6-palcového křemíkového plátku je přibližně 22 mm.
